中科卓尔完成数亿元B+轮融资交割，投向高端石英空白掩模版量产产线

投资界10月26日消息，中科卓尔近日完成数亿元B+轮融资交割，投资方包括中银国际投资、济南产发集成电路、建投华科、江阴新国联及川流投资。公司称本轮资金将重点用于高端石英空白掩模版的核心工艺研发深化与量产产线建设，包括超精密抛光、真空镀膜等核心装备与工艺的自主迭代，以及打通材料检测、精密抛光、真空镀膜到智能制造的全链条能力。